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文部科学省　先端研究施設共用イノベーション創出事業　ナノテクノロジー・ネットワーク

『中部地区ナノテク総合支援：ナノ材料創製加工と先端機器分析』
「Ｘ線光電子分光支援」
顕微光電子分光装置　PC操作手順

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2007年4月1日　記載責任者　横山利彦(内線7345)
担当者　中川剛志 (内線7341)

1. 測定
  1. Elipse V2.0のアイコンをダブルクリックし、測定用のソフトを立ち上げる。
  2. “Spectrum Acquisition”をダブルクリックし、スペクトル収集窓を開く。
  3. デスクトップにあるDrive Cアイコンをダブルクリックし、DriveC-Tree Viewを開く。
  4. C:にあるNANOのフォルダ内に適当なサブフォルダを作る(ここではSAMPLEという名のフォルダとする)。
  5. スペクトル収集窓の”Experiment Name”に(4)で作ったフォルダのパスを入力する。
    例：C:/NANO/SAMPLE
  6. スペクトル収集窓の”Data File Name”に保存したいファイル名とそのパスを入力する。
    例：C:/NANO/SAMPLE/XPS001
  7. ウインドウの下半分にあるセルの1つをダブルクリックして、セルウインドウを開く。
  8. セルウインドウの左上のXPS(○○)のカッコ内がB.E.(結合エネルギー)になっていることを確認。文字のところをクリックするとB.E.(結合エネルギー)⇔K.E..(運動エネルギー)が切り替わる。
  9. 必要事項を入力する。
    1. Region Name： Saveされるときのファイル名になるので、C1sなどと入力。
    2. Start Energy (Center Energy), End Energy (Scan range)： 測定を開始するエネルギー値と終了するエネルギー値。例えば100−200 eVを測定したいときはStart = 100, End = 200 (Center = 150, Scan = 100)とする。
    3. Dwell： データ一点の収集時間(単位はミリ秒)。
    4. Pass Energy (⇔Retard Ratio)： 電子分光器のパスエネルギー(減速率)を入力。大きいほどエネルギー分解能が悪いが、信号は強い。
    5. No. of Scan： スキャンの回数。
  10. レンズとX線源の設定をおこなう。
    1. レンズ：Option ⇒ Lens Modes から”small area 1mm2”もしくは”Large Area”を選ぶ。
    2. X線源：Option ⇒ X-ray Sourceで使用する線源を選ぶ。
    3. 測定手段：Option ⇒ Mode/Technique でXPSを選ぶ。
  11. レンズモードに沿って、ESCAのスリット(写真1-C)を変化させる。
    Small Area 1mm2： bottom = 3.5 , top = 5.5
    Large Area： bottom = OPEN, top = OPEN     (OPENとは数字の大きいほうへ最後まで回した状態)
  12. 測定開始Startを押す。
    もしカウントが100,000 cpsを越えたら、直ぐに測定を止め(Abortをクリック)、レンズの変更もしくはPass Energyの変更(小さい値へ)により100,000 cpsを越えないようにする。
    測定中にスキャン回数を変更できる。その他のパラメータは測定中に変更してもその測定には無効となる。
2. データ転送
  1. Elipse V2.0のアイコンから測定用のソフトを立ち上げる。
  2. “Data File Export”をダブルクリックし、ウインドウを開く。
  3. “Eclipse ASCII”を選び、“Data⇒ASCII”ボタンを押す。
  4. 新しいウインドウが開くので、移送したいファイルを選びLoadする。もしこのときファイルやフォルダが見えなければ、”File Type”を”All Files”に変更する。
  5. 保存先を聞いてくるので、A:ドライブにフロッピーがあることを確認して、Aドライブに保存する。