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文部科学省 先端研究施設共用イノベーション創出事業 ナノテクノロジー・ネットワーク

『中部地区ナノテク総合支援:ナノ材料創製加工と先端機器分析』
「X線光電子分光支援」

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2007年4月1日 記載責任者 横山利彦

1. 申込
  1. 測定したいすべての試料名、希望マシンタイム日程を明記の上(利用予定表を参照)、
    横山(yokoyama@ims.ac.jp)までメールで連絡ください。
    特に、揮発する可能性のある試料は絶対申告ください。故意または大きな過失で装置を破壊した場合、責任が及ぶことがあります。
  2. 次に、ナノネットによる協力研究・施設利用に申請してください。
    • 協力研究:所内担当者との共同研究。
    • 施設利用:利用経験のあるユーザーが単独で装置を利用するもの。
2. マシンタイム配分
  1. 日程調整の上、マシンタイムを確定します。
3. 測定
  1. 備え付けの実験ノートに、実験者名、グループ名、測定室の実験、はじめの真空度、終了時の真空度、その他測定条件などを記入してください。
  2. 規定の真空度より悪い状態で強引に実験を進めてはいけません。
    規定の真空度は、試料搬送時2x10-7 Torr測定時1x10-7 Torrとします。
  3. X線源の電圧電流値は規定値(Mg-Kalpha 15 kV, 20 mA; Al-Kalpha 15 kV, 34 mA)またはそれ以下を用いてください。
  4. 規定の計測率100,000 cps以下の信号強度で測定してください。信号強度が大きすぎる場合、直ちに測定を停止し、パスエネルギーを下げる、電子レンズを変更するなどの処置をとってください。
  5. 問題があれば横山Gの誰か(横山内線7345、中川内線7341)とコンタクトしてください。トラブルがあった場合は必ず備え付けノートにわかりやすく状況を記入してください。
  6. X線源停止後もしばらく冷却水を流し続けてください。
  7. 試料、ゴミなどはすべて持ち帰ってください。最後の測定試料も忘れないでください。ホルダーはロードロック中に保持し、ロードロックを真空引きして終了してください。
  8. 真空が悪化した場合などは、横山G監督の下、ベークなどの事後処理に対して責任をもってください。
4. 測定終了直後の利用記録提出

 一連のマシンタイムごとに利用報告書を終了後直ちに提出してください。同じテーマでもマシンタイムが連続していない場合はその都度提出してください。フォームはマシンタイム配分時にメールで送られます。

5. 年度末の報告書提出

 文科省に提出する報告書(A4 2枚)を提出してください。フォームはマシンタイム配分時にメールで送られます。異なるテーマ毎に提出してください。