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図1に本装置の写真を示しました。 　ロードロックに試料を装填し，ロードロックを粗引きターボ分子ポンプにより数時間かけて真空引きした後，試料を直線導入により測定槽の試料マニピュレータに受け渡し，スペクトルの測定を行います。 　測定槽はイオンポンプで排気され，真空度は2〜3x10-10Torr程度で，X線を動作させてもさほど変化はありません。電子レンズには2つのスリットがあり，試料が十分大きな面積を有する場合は２つとも全開し，試料が小さい場合スリットを閉じることで試料以外からの光電子を除去してバックグランドを下げます。分光モードでは20μmまで絞ることが可能です。測定槽には，試料中和用およびイメージング用にフラッドガンが装備されています。フラッドガンはイメージング時0.5kVの電子線を試料に照射します。 　 ←図１　ESCALAB 220i-XLの全体写真。2003年2月20日現在のセットアップ。 図2に，清浄化処理を行っていない金板のAu4f7/2,5/2の光電子スペクトルを示しました。線源はMg-Kα，パスエネルギー(a) 50eVおよび(b) 10eV，広い面積からの光電子を計測したものです。低結合エネルギー側(75-80eV)にMg-Kα3,4によるサテライトが生じていますが，これは分光器がないためであり，ソフト処理により概ね除去可能です。 ←図２　Mg-Kαによる清浄化処理を行っていない金板のAu4f7/2の光電子スペクトル。1x1mm2領域の測定。パスエネルギーは(a)50eV，(b)10eV。 図3(a),(b)に，空間分解能性能評価用標準試料のイメージングデータを示しました。入射線源はフラッドガンからの電子線(0.5kV)を用いています。弾性散乱を計測したものです。仕様は5μmですが現状では10μm程度の空間分解能になっています。2003年1月末に移設したばかりで空間分解能がやや悪い点は検討する予定です。 ←図３　イメージモードにおける空間分解能の性能評価データ。(a)は一辺500μm，(b)は一辺250μm。入射線源はX線の代わりに電子銃(0.5 keV)を利用。約10μmの空間分解能になっている。